实验室简介

清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室是北京市科学技术委员会认定的重点实验室，2012 年批准成立。实验室实行学术委员会指导下的实验室主任负责制。实验室现任主任由清华大学刘辛军教授担任，浙江大学杨华勇院士担任学术委员会主任。2015 和2018 年，在北京市科委组织的北京市重点实验室和工程技术研究中心的绩效考评中，本实验室获得优秀。

实验室学术委员会成员

科研队伍

精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室技术力量雄厚。目前在职人员 54 人，其中高级职称 40 人，博士生导师22 人。包括国家级高层次人才8 人次，国家级青年人才8 人次，北京市教学名师2 人，国家级精品课负责人2 人，教育部“新世纪优秀人才”4 人，北京市杰青获得者1 人，北京市“科技新星”1 人，德国“洪堡”学者2 人，全国优秀博士学位论文获得者 2 人，上银优秀博士机械论文奖优秀奖获得者2 人。

科研方向

精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室针对国家建设和学科发展的需要，积极开展精密超精密的加工工艺、控制与装备的基础性、战略性、前瞻性的研究，主要研究方向为：

1、精密制造装备设   包括：先进制造装备的概念设计与机构构型综合；制造装备运动学、动力学分析；制造装备及部件静动热态性能分析与优化；机床结合面特性及参数识别等。

2、微电子制造装备与数   包括：精密机械机构与结构；测量与控制；电磁分析与设计；特种材料与工艺；高速高密运动控制；基于网络的高档运动控制。

3、精密与特种制造   包括：高速精密切削、超精密磨削、超声振动加工、磁流变抛光、高速电火花加工、微细电火花加工、高品质镜面特种加工和精密超精密切削方法。

4、高精度多功能机器人   包括：机器人机构构型设计理论、机器人机构及装备的性能评价方法、机构的参数化优化设计方法。

教学与人才培养

精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室为本科生和研究生共开设近 40 门课程，《制造工程基础》和《机械制图》荣获北京市和国家级精品课。教学成果丰硕：获国家级教学成果奖 2 项；北京市教育教学成果一等奖 3 项；清华大学教育教学成果特等奖 1 项，一等奖 4 项，二等奖 4 项；清华大学实验技术成果奖一等奖 2 项，二等奖 4 项；清华大学优秀教学软件一等奖二等奖各 1 项。目前实验室在读硕、博士研究生约 150 人。

科研条件与成果

精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室拥有高精度电火花成形加工机、超声振动精密加工机床、五轴联动高速加工中心、精密卧式加工中心等高档数控加工设备 10 余台，精密微动台多套，以及 5 自由度激光干涉测量系统、激光干涉仪、可变压力电子扫描显微镜、三维PIV/ 微PIV 流动分析系统、LMS 机床模态测试系统等精密设备与仪器 100 余台套。设备总值 6600 余万元。

实验室荣获国家自然科学二等奖、国家科技进步二等奖以及省部级科研、教学奖励 20 余项，出版重要著作及教材 21 部、发表SCI 收录论文770 余篇、EI 收录论文860 余篇、获授权发明专利950 余项、上银优秀博士机械论文奖优秀奖2 篇。