实验室简介

高端装备界面科学与技术全国重点实验室是在原清华大学摩擦学国家重点实验室基础上重组的重点实验室，也是全国首批20 个重组的全国重点实验室之一。实验室1988 年创建，是我国机械工程领域和清华大学首批建成的国家重点实验室之一。

实验室主要从事摩擦学与微纳制造的基础研究和应用基础研究，同时还开展相关的应用技术研究并提供技术咨询服务。研究领域涉及摩擦、磨损、润滑、密封、表面与界面、微纳制造、智能机械、生物机械、微纳光电器件等。实验室承担了包括国家重大研究专项、国家 973 计划项目、863 计划项目、国家自然科学基金重大和重点项目、国际合作和企业合作项目等大量科研任务。研究成果对促进科学技术进步和国民经济发展做出了重要贡献。清华大学高端装备界面科学与技术全国重点实验室是国内摩擦学与微纳制造领域重要的科学研究和人才培养基地。

教师队伍

高端装备界面科学与技术全国重点实验室拥有一支具有多学科交叉特色的研究团队。目前有在职人员83 人，包括：中国科学院院士 2 人、中国工程院院士 1 人、国家级高层次人才13 人，国家级青年人才17 人、教育部新世纪人才多人等各层次人才。2005 年，以实验室主要成员为主的研究团队入选教育部“创新研究团队”。2008 年，以实验室主要成员为主的研究团队荣获国家自然科学基金委“创新研究群体”，并于 2011 年和 2014 年获得连续资助。

科研方向

经过三十余年的发展和壮大，高端装备界面科学与技术全国重点实验室已经成为在国际摩擦学领域具有一定影响、在国内摩擦学与微纳制造领域具有重要地位的科学研究和人才培养基地。实验室针对国家建设和学科发展的需要，积极开展以表面、界面问题为主的基础性、战略性、前瞻性的科学研究。经过多年的发展，高端装备界面科学与技术全国重点实验室已经形成面向学科发展前沿以及国家重大需求的三大研究方向：IC 制造装备核心界面技术、尖端装备核心界面技术和高端装备界面科学与界面性能正向设计理论。

人才培养

高端装备界面科学与技术全国重点实验室成立以来，培养了一大批博士后、博士生、硕士生等高层次人才。实验室已接纳博士后研究人员100 余名，招收博士研究生 400 余名，200 余人已获博士学位，招收硕士研究生 400 余名，300 余人已获硕士学位。5 篇博士论文获选全国优秀博士学位论文。实验室教师为清华大学机械制造、机械设计、微机电系统工程专业本科生、研究生开设多门专业基础课程及高水平教学试验课程。实验室培养的各层次人才在国际学术领域、国家重点企事业单位以及著名跨国公司做出了重要贡献。

科研成果

自 1988 年成立以来，高端装备界面科学与技术全国重点实验室获国家自然科学奖 6 项，发明奖 5 项，科技进步奖 4 项，全国优秀科技图书奖 2 项，省部级奖 60 余项，何梁何利基金科学与技术进步奖 1 项，中国机械工程学会科技成就奖 1 项，中国机械工程学会摩擦学分会最高成就奖 2 顶，美国摩擦学与润滑工程师学会国际奖 1 项，美国摩擦学与润滑工程师学会年度最佳论文奖 1 项、英国机械工程学会摩擦学工程期刊 2008 年最佳论文奖 1 项。近五年来，共发表SCI 检索1200 篇，影响因 子5.0 以上74 篇；影响因子10.0 以上30 篇， ESI 高引论文4 篇次，JCR1 区论文519 篇次； EI 检索1312 篇。其中，在Nature、Nature Nanotechnology、Nature Communication、 PRL、ACS Nano 等顶级期刊上发表了一批高质量的论文，实现了基础科学研究方面的突破。作为主编单位，共出版专著与教材14 本，其 中外文专著6 本。共获得授权的发明专利675 项，其中国际专利8 项。授权专利转让和打包评估产业化共232 项。