2003.9~2007.6，华中科技大学机械电子工程，获博士学位

2000.9~2003.7，华中科技大学机械电子工程，获硕士学位

1996.9~2000.7，华中理工大学机械工程及自动化，获学士学位

2007.12~2010.10，华中科技大学计算机学院，博士后

2010.10~至今，清华大学机械工程系机械电子研究所

自2003年起，一直从事光刻装备超精密运动系统的纳米精度精密控制研究。主要研究兴趣在于纳米运动轨迹规划方法及其精度影响与控制、动态行为耦合及其精细化控制、基于前馈-反馈广义耦合的控制参数精细化标定。目前的研究兴趣正在向无振动运动轨迹规划设计准则、基于能量运动控制新型理论与方法的研究。

发表学术论文20余篇，代表性论文：

1、Mu Haihua, Zhou Yunfei, et al. Calibration and compensation of cogging effect in a permanent magnet linear motor．Mechatronics, 2009．

2、Mu Haihua, Zhou Yunfei, et al．Third-order trajectory planning for high precision point-to-point motion． Frontiers of Electrical and Electronic Engineering in Chain，2009．

3、Zhu Yu, Zhang Shengguo, Mu Haihua．Augmentation of propulsion based on coil array commutation for magnetically levitated stage. IEEE Transactions on Magnetics, 2012.

4、Zhang Shengguo, Zhu Yu, Mu Haihua．Decoupling and levitation control of a six-degree-of-freedom magnetically levitated stage with moving coils based on commutation of coil array. Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part I: Journal of Systems and Control Engineering, 2012.

5、Teng Wei, Gao Qingfeng, Wu Xin, Mu, Haihua. Iterative tuning of decoupling controller for 3-DOF precision motion stage. Journal of Mechanical Science and Technology, 2012.

6、穆海华，周云飞，周艳红．洛仑兹电机运动控制耦合机理分析及动力学建模．中国电机工程学报，2009．

7、穆海华, 周云飞, 周艳红. 步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制. 机械工程学报，2010．

8、穆海华，周云飞，温新等．直线电机齿槽推力波动的标定与补偿方法．电机与控制学报．2009．

9、穆海华, 周云飞, 周艳红．步进扫描光刻机扫描运动轨迹规划及误差控制，机械工程学报，2010．

10、穆海华, 周云飞, 周艳红．光刻机步进扫描运动轨迹重叠规划算法，机械工程学报，2010．

11、滕伟，柳亦兵，穆海华．光刻机工作台超精密运动与同步控制，机械工程学报，2011．