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机械系路新春教授CMP团队研制产品获选2018年度中国半导体创新产品
机械系路新春教授CMP团队研制产品获选2018年度中国半导体创新产品

5月17日,2019世界半导体大会在南京国际博览中心开幕。

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由我系路新春教授带领CMP团队,研制出的华海清科“12英寸化学机械抛光设备Universal-300 Plus”,因其卓越的创新、优异的性能、迅速获得市场高度认可,在第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术项目”评选活动中,荣获2018年度中国半导体创新产品。

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此次大会以“创新协作、世界同芯”为主题,广邀国内外著名半导体领域代表,共同探讨全球半导体产业前沿趋势与发展大势。同时,为宣传和推广我国半导体产品和技术创新成果,加快创新成果产业化,中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报社联合举办了“第十三届(2018年度)中国半导体创新产品和技术”评选,获奖结果于世界半导体大会上的颁奖仪式发布

此次评选由中国电子专用设备工业协会、中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子报社联合举办, 获奖结果在2019年世界半导体大会发布并举行颁奖。

联系方式

010-62772677

mayue@tsinghua.edu.cn

北京市海淀区清华大学李兆基科技大楼A401(校园地图)

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