2026年2月2日,何梁何利基金2025年度颁奖大会在北京钓鱼台国宾馆隆重举行,机械系首席研究员路新春凭借为集成电路装备自主可控发展做出的卓越贡献,荣获何梁何利基金“科学与技术创新奖”。
何梁何利基金由香港爱国金融家何善衡、梁銶琚、何添、利国伟于1994年创立,旨在奖励中国杰出科学家,服务于国家现代化建设,是我国规模大、权威性高、公信力强的社会力量科技奖励。基金见证了一大批杰出人才的涌现,31年来表彰奖励了1692位优秀的科学家、工程师、产业领军人才,在激励自主创新、激发人才活力、弘扬科学家精神等方面发挥了重要的作用。
路新春长期致力于纳米摩擦学与超精表面制造理论与技术研究,聚焦集成电路制造关键装备——化学机械抛光(CMP)与减薄装备及工艺的自主攻关。他主持了10余项国家级重大科研任务,在理论层面建立了化学机械抛光、超洁净清洗与精密减薄的基础理论体系;在技术层面,攻克了集成电路表面超精密制造的多区压力调控、超洁净清洗、减薄面形调控等一系列核心关键技术;在装备研制与产业化方面,率先推出国内首台拥有自主知识产权的12英寸CMP装备及磨削抛光一体化减薄装备,不仅填补了国内相关领域的技术空白,更成功推动国产半导体高端装备实现大规模产业化应用,有效解决了我国相关领域的“卡脖子”困境。
路新春的科研报国之路践行了将论文写在祖国大地上,是中国科技工作者将国家需求与科研创新紧密结合的真实写照。此次荣获何梁何利基金科学与技术创新奖,不仅是对其过往贡献的崇高褒奖,也寄托着对其未来持续引领行业突破的殷切期待。
路新春表示,将以此次荣誉为新的起点,继续深耕集成电路制造关键装备的研发与应用,为攻克更多“卡脖子”技术难题而不懈奋斗。